강의계획서
| 교과목코드 | JEQ01302 | 교과목명 | 반도체공정실습 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 반도체공학과 | 교수 | 하태민 |
| 교수소속 | 반도체공학과 | 이수학년 | 3학년 |
| 과목구분 | 이론 및 실습 | 과정구분 | |
| 이메일 | gertrude001@mju.ac.kr | 전화번호 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | Lecture 1 : Semiconductor Industry |
| 2주차 | Lecture 2 : Device Technology |
| 3주차 | Lecture 3 : CMOS Process Steps (Cleaning, Diffusion,Implant) |
| 4주차 | Lecture 4 : CMOS Process Steps (Thin Film) |
| 5주차 | Lecture 5 : CMOS Process Steps (Photo/Etch) |
| 6주차 | Lecture 6 : CMOS Process Steps (CMP/Devices) |
| 7주차 | Lecture 7 : Semiconductor Equip. |
| 8주차 | Quiz |
| 9주차 | Lecture 8 : Safety Practice 1 (FAB process) |
| 10주차 | Lecture 9 : Practice 2 (FAB process) |
| 11주차 | Lecture 10 : Practice 3 (FAB process) |
| 12주차 | Lecture 11 : Practice 4 (FAB process) |
| 13주차 | Lecture 12 : Practice 5 (FAB process) |
| 14주차 | Lecture 13 : Practice 6 (FAB process) |
| 15주차 | Final exam |
| 16주차 |